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羅茨泵的抽速與極限壓力
來源: 發(fā)布時(shí)間:2014-07-07 點(diǎn)擊:

羅茨泵是一種容積泵,它的抽速和極限壓力,對(duì)各種氣體是不變的。對(duì)抽除分子量比氮?dú)獾偷脷怏w(He和H2)時(shí),間隙泄漏量稍有增加就會(huì)引起抽速稍有下降。在入口壓力為1-0.1hPa范圍內(nèi)有最大抽速,在較高眼里和降低壓力時(shí),由于返流作用較大些,故抽速在此兩者情況下稍微有些下降。

羅茨泵抽氣腔內(nèi)是干燥無油的,故抽氣曲線對(duì)應(yīng)的壓力時(shí)全壓力。羅茨泵機(jī)組的極限全壓力與選擇的前級(jí)泵種類有關(guān)。一般為0.001hPa,它受前級(jí)泵泵油的蒸汽壓力,以及齒輪箱、軸承處潤滑油的蒸汽壓力的影響。羅茨泵上有油的空間要同前級(jí)真空側(cè)相連通,由齒輪和軸承負(fù)荷引起的油劣化物被前級(jí)泵抽除而對(duì)羅茨泵入口處無影響。在較高壓力下工作時(shí),較高的壓力差會(huì)將油通過軸封處而進(jìn)入被抽空間去。為了避免這種現(xiàn)象發(fā)生,可將含油的空間另設(shè)小真空泵抽空,以保證泵腔內(nèi)的清潔。

羅茨泵的潤滑油通常使用機(jī)械泵油或低蒸汽壓力的擴(kuò)散泵油。使用擴(kuò)散泵油在低負(fù)荷下市適當(dāng)?shù)摹?br />
在液環(huán)泵作為羅茨泵的前級(jí)泵時(shí),羅茨泵的抽速和極限壓力,取決于液環(huán)泵使用的液體。水式通用的工作液體,水環(huán)泵的極限壓力為20-30hPa,它取決于供水的溫度。羅茨泵機(jī)組的極限壓力可達(dá)到1hPa,它是水環(huán)泵來的水蒸氣所決定的。若使用帶氣體噴射器的前級(jí)泵時(shí)羅茨泵機(jī)組的極限壓力為0.1hPa。因?yàn)闅怏w噴射器的運(yùn)行,對(duì)水蒸氣的返流有個(gè)阻擋作用。一般來說,用一臺(tái)羅茨泵與單級(jí)前級(jí)泵組成為機(jī)組的情況較多,但要求有更低的艱險(xiǎn)壓力和更高的抽速時(shí),常用多臺(tái)羅茨泵串聯(lián)后再加前級(jí)泵組成機(jī)組。

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